[뉴스비전e 김호성 기자] 삼성전자의 평택 반도체 2생산라인 결정에 클린룸 관련 업계들은 분주해졌다. 

7일 경영위원회에서 평택 반도체 2생산라인 결정이 통과되면서, 대규모 수주를 기대하고 있기 때문이다. 

1생산라인 이후 반도체는 미세공정을 위한 노광장비 등 전공정 핵심 부분에서 그간 투자가 진행됐다는 점에서, 이번 투자 결정은 사실상 수년만에 처음으로 다가오는 대규모 공급기회다. 

특히 평택2공장 착공과 함께, 평택 1공장 증설 및 화성 신공장 건설, 중국 시안 2공장 등 대규모 투자가 이어질 전망이라는 점에서 올해 정해질 공급 성사 여부와 규모가 앞으로 수년간의 매출 기반이 될 것으로 업계는 내다보고 있다. 

◆반도체클린룸 장비업체, 기대 고조

삼성전자가 이날 경영위원회에서 승인한 투자계획의 기본 방향은 미리 공장을 건설해 놓고 투자전략을 이어가는 기존의 흐름과 크게 다르지 않다는 분석이다. 

클린룸 단계의 기초공사를 다져놓고 앞으로 본격적인 발주에 들어가는 식이다. 

이에 따라 가장 먼저 발주가 예상되는 분야 역시 클린룸과 관련된 전기 및 가스 배관, 온도제어계측 및 감지 등의 분야다. 

발주는 삼성전자가 계열 건설 시공사인 삼성물산에 준 이후 삼성물산이 일괄 공급(턴키) 방식으로 분야별 장치 및 장비 발주를 할 것이라는 예상이다. 

배관설비를 하는 원익홀딩스 등 국내 기업들이 포진해 있다는 점에서 내수시장 활성화에도 적지 않은 도움이 될 것이라는 평가다. 

업계 관계자는 "이미 지난달부터 일부 업체들에게는 수요 장비에 대한 설명이 전달된 것으로 알고 있다"며, "이번 경영위원회의 투자계획 승인으로 본격적인 장비 요청이 들어올 것으로 기대하면서 추이를 살피고 있는 중"이라고 전했다. 

◆전공정 장비업계도 '들썩'...핵심장비 국산화율에도 '촉각'

클린룸에 이어 발주가 다가올 분야는 빛을 쏘아 패터닝을 하고 식각하는 전공정(웨이퍼가 완성되기 이전 단계) 앞단 장비들이다. 주로 노광, 패터닝, 식각(MOCVD) 등이다. 

식각장비 관련 국내 업체 관계자는 "평택 2공장의 바닦 다지기가 마무리되고 나면 바로 반입이 필요한게 전공정 핵심 장비"라며, "생산 방식에 맞춘 장비 개요를 미리 확정해야 한다는 점에서 머지 않아 발주 관련 이야기가 나올 것으로 예상한다"고 전했다. 

특히 국내 업체들은 일부 핵심장비의 국산 대체 여부에 대해서도 촉각을 기울이고 있다. 

최근 강호규 삼성반도체 연구소장(부사장)은 "7나노를 위주로 미세공정 시대가 되면서 패터닝에 정교함이 필요하다"고 밝히며 이 분야에서 기존 장비와 다른 방향으로 갈 것임을 예고했다. 

그간 네덜란드 회사인 ASML의 장비를 써왔던 패터닝 공정 뿐 아니라 식각 및 노광 등의 주요 장비에 국산화가 불 것이라는 기대를 갖게 하는 대목이기도 하다. 

전공정 업체 관계자는 "삼성전자 내부적으로 앞으로 4차산업시대에 들어서면서 경쟁력 강화를 위한 장비 및 소재업체와의 긴밀한 협력을 강조하고 있는 분위기가 감지되면서 장비업체들의 기대는 더욱 높아지고 있다"고 전했다.